碳化硅晶體是良好半導體材料
碳化硅晶體是具有高穩定性的良好半導體材料,目前我國使用的碳化硅晶體材料主要依賴于進口。山東大學從本世紀初開始對碳化硅晶體材料展開科研攻關,先后承擔了國家863和973計劃相關重大科研項目,碳化硅單晶研究技術在國內處于領先地位。研究人員經過近10年的研究和2000多次晶體生長實驗,打破國外封鎖,成功研發出可靠的碳化硅晶體材料制備技術。碳化硅單晶襯底和藍寶石襯底是新一代半導體材料廣泛應用于民用航空、半導體照明、光電子、電力輸送、寬帶通訊等技術領域,這一產業化項目的實施將大大縮短我國與世界先進國家的差距。同時,碳化硅單晶襯底還是重大節能環保材料。
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